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日本美蓓亚三美（MinebeaMitsumi）MMS101 是一款6轴力扭矩传感器，它具有3轴力和3轴力矩。 MMS101 采用MEMS芯片和金属结构的混合结构，实现6轴检测。 MMS101 在其模块中内置了 AFE IC，并产生数字输出 (SPI)。 用于矩阵运算的校正系数（去除其他轴干扰分量）存储在 AFE IC 内的存储器中。 由于可以在测量开始前立即读取它们，因此用户无需控制传感器和校正系数。
此外，MMS101 模块中内置的 LDO 可降低噪音。 本产品极其小巧轻便，适用于机器人手的指尖。
• 微型尺寸：Φ9.6(W) × 9.0(H) mm；
• 重量轻：3 g；
• 高载荷范围： Fx, Fy, Fz：200N / Mx, My, Mz：1.8N・m；
• 额定量程范围： Fx, Fy, Fz：40N / Mx, My, Mz：0.4N・m；
• 内置LDO降噪：
• Fx, Fy：0.04N RMS / Fz：0.06N RMS；
• Mx, My：0.0004N・m RMS / Mz：0.0008N・m RMS；
• 通过内置序列器（SPI）数字输出6轴数据。
| （1）力/扭矩传感器性能指标 | |||||||
| 测试条件(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V) | |||||||
| 指标 | 符号 | 条件 | 最小 | 典型值 | 最大 | 单位 | |
| 理论分辨率 | FxFyFz | FRES | - | - | 0.001 | - | N |
| MxMyMz | MRES | - | - | 0.00001 | - | N・m | |
| 有效分辨率(备注1) | FxFy | FEresxy | - | - | 0.04 | - | N |
| Fz | FEresz | - | - | 0.06 | - | N RMS | |
| MxMy | MEresxy | - | - | 0.0004 | - | N・m/RMS | |
| Mz | MEresz | - | - | 0.0008 | - | N・m /RMS | |
| 线性度(备注1) | FL | FS=40N or | -1 | - | 1 | %FS | |
| ML | 0.4N・m | -1 | - | 1 | %FS | ||
| 滞后 | FHys | FS=40N or | -1 | - | 1 | %FS | |
| MHys | 0.4N・m | -1 | - | 1 | %FS | ||
| 测量精度 (备注1) | FAcc | FS=40N or | -5 | - | 5 | %FS | |
| MAcc | 0.4N・m | -5 | - | 5 | %FS | ||
| 转换时间 | tcon | - | - | 781.25 | - | usec | |
| 延时 | tlat | 转换时间：典型值; 通讯时钟：1MHz; 无延迟切换 AFE 访问 | - | - | 2 | msec | |
| 备注1: 图表中的值是使用我们的评估设备和电路板的测量结果 | |||||||
| （2）电气指标 | |||||||
| 模拟指标(T= 25℃, VDD = 4.3 V, VDDIO = 3.3 V) | |||||||
| 指标 | 符号 | 条件 | 最小 | 典型值 | 最大 | 单位 | |
| VDD 电流消耗 | IVDDact | 测试工况 | - | - | 10 | mA | |
| VDDIO 电流消耗 | IVDDIOact | 测试工况 | - | - | 20 | uA | |
| 数字I/O 指标(T = 25℃, VDD = 3.8 to 14 V, VDDIO = 1.14 to 3.6 V) | |||||||
| 指标 | 符号 | 条件 | 最小 | 典型值 | 最大 | 单位 | |
| 高电平输入电压 | VIH | - | 0.8 × VDDIO | - | VDDIO + 0.3 | V | |
| 低电平输入电压 | VIL | - | -0.3 | - | 0.2 × VDDIO | V | |
| 输出电压高电平 | VOH1 | VDDIO ≧ 2.0V, Iload = -3mA | VDDIO - 0.4 | - | - | V | |
| VOH2 | VDDIO ＜ 2.0V, Iload = -1mA | 0.8 × VDDIO | - | - | V | ||
| 输出电压低电平 | VOL1 | VDDIO ≧ 2.0V, Iload = 3mA | - | - | 0.4 | V | |
| VOL2 | VDDIO ＜ 2.0V, Iload = 1mA | - | - | 0.2 × VDDIO | V | ||
| （3）尺寸规格 | |||||||
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| 推荐的FPC连接器： | FH28D-20S-0.5SH (HIROSE ELECTRIC CO.,LTD) | ||||||
| （4）传感器坐标 | |||||||
| *坐标原点是传感器顶面中心. | |||||||
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| 应用实例 | |
 |  |
| 应用于机械手、夹具 | 应用于检验流程设备等 |
